Research Fields 研究领域             微机电系统（MEMS）和纳机电系统（NEMS）；     微流量控制系统；     微型飞行器；     生物医疗仪器；     实时在线检测系统和设备；     机电一体化设备；     自动化设备；     精密加工技术及设备；     精密测试设备；       光学器件及仪器；       应用软件；       企业信息系统、数据管理软件及行业管理软件；       高性能网络服务系统；       软件组件、中间件；

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